SEMI示警：美國無法阻止DUV設備輸入中國，紅色供應鏈仍可打價格戰搶單

晶片大戰日益白熱化。知情人士告訴《彭博社》，美國希望半導體設備大廠艾司摩爾（ASML），禁止向中國輸出大部分電子晶片所需的設備——深紫外光刻機台（DUV）從而抑制中國崛起。不過，業界認為艾司摩爾恐擔心中國市場受創將難以和美國達成協議。

艾司摩爾陷入對中出口設備的兩難

過去，白宮已經以國家安全為由，要求艾司摩爾出口先進製程設備極紫外光微影（EUV）。這個技術是目前製造高階晶片的重要設備，在半導體領域中7奈米以下則跨入先進製程的範圍，同時也是台積電最重要的技術。

如今，知情人士指出，美國將更近一步從先進製程擴大範圍到成熟製程的深紫外光刻機台（DUV）。如果艾司摩爾同意，將再度重擊包含中芯國際、華虹半導體等中國晶片製造商，就商品類別而言，也從高階的人工智慧，一路下探至中低階的手機、車用電子產品。

針對這項傳聞，2月3日國際半導體產業協會（SEMI）、顧問公司Evercore ISI等均示警，相關措施恐難以徹底實行。

《經濟日報》引述SEMI說法強調，若日荷若要管制機台出口，並不會像美國那麼嚴格，除非盟邦同意先對中國生產的先進晶片，進行更大的邊境管制才有效果；而紅色供應鏈仍可以量取勝，大打價格戰搶單，這意味著包含聯電在內的成熟製程台廠，轉單效應破滅。

《關鍵評論網》實際詢問位於超豐電子的業內人士Jason（匿名）強調，不太可能完全禁止中低階的設備出口到中國。一方面對艾司摩爾而言，雖然DUV不如高階EUV好賺，但是設備的數量比較多，也是艾司摩爾的重要營運支柱，因此要完成協議不太可能。

根據艾司摩爾2022年財報披露，2021年它們的第一大客戶就是中國晶片業者，貢獻營收超過290億美元，而台灣和韓國貢獻的收入大約在250億美元左右，隨著近年中國對於晶片的憂慮加劇，中國已經成為艾司摩爾的最大市場之一，目前它們在中國擁有有15個辦事處、11個倉儲物流中心、3個開發中心、1個培訓中心以及1個維修中心。

Jason也提到，美國要以何種「國安理由」禁止中低階設備出口，過去高階設備可能使中國在軍事、5G通訊和人工智慧領域對於民主體制造成危機，因此並沒有理由得以限制DUV出口。最後，無論是EUV還是DUV等半導體機台，並不是只有荷日2國受到影響，其供應鏈龐大，牽涉多國業者包含鏡頭、光罩和化材等千上萬的供應商。

倘若DUV被禁止，將打擊中國半導體產業

根據集邦科技（TrendForce）研究預估，7奈米（含）以下先進製程產能方面，至2025年台灣占比約69%、韓國18%、美國12%、中國1%。相較2022年的格局，顯見美國未來3年將提升先進製程產能占比，而中國則以成熟製程為主軸。

由於美國實體清單已經禁止先進製程輸出中國，多數中國晶圓代工業者因而轉向積極擴充28奈米及以上成熟製程技術，於此同時中國亦積極培植國產半導體設備。值得一提的是中芯在2020年被列入管制前，已開始發展DUV曝光的N+2（7奈米）製程技術，以當時採購之機台進行研發。

但是由於7奈米（含）以下晶片已逼近物理極限，若採用DUV而非轉用EUV技術，則需要經歷更複雜的製作程序，將影響其良率與成本表現。

有鑑於此，中芯近年以土法煉鋼的方式成功量產7奈米製程產品。因此集邦科技認為，美國還會不斷進行遊說，擴大限制範疇至DUV，倘若成功，不僅影響中國往7奈米（含）以下先進製程研發的推進，也將對目前中國半導體擴產主力製程40奈米及28奈米擴產活動造成極大影響。

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核稿編輯：翁世航