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2022/09/12 | 中央通訊社(Central News Agency)

【林本堅專訪1】清大半導體學院奈材中心揭密,豪華師資打造小型晶圓廠練兵

「浸潤式微影之父」林本堅自台積電退休後就在清大任教,去年在清大校長賀陳弘邀請下,出任清大半導體學院院長,「我在半導體、微影領域裡面差不多累積50年經驗,有機會把這個傳給下一代,是很好的事情。」